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無塵室
無塵室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面,無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。
| 亂流式 | 層流式 | 復(fù)合式 | ||||
| 水平層流式 | 垂直層流式 | 潔凈隧道 | 潔凈管道 | 局部無塵 | ||
| 潔凈度 | Class1000~100000 | Class100~1000 | 全區(qū)Class 100 | 隧道內(nèi)Class100 | Class 100 | 最靠近面Class100~1000 |
| 換氣次數(shù)(次/時(shí)) | 15~80 | 100~300 | 300~500 | 隧道內(nèi)500~1000 | 100~300 | 100~300 |
| 風(fēng)速(m/s) | 1~3 | 0.45~0.6 | 0.25~0.4 | 0.3~0.5 | 0.25~0.5 | 0.25~0.45 |
| 正壓度(mm wg) | 0.5~1.5 | 1.0~2.0 | 1.5~2.5 | 1.0~2.0 | 1.0~2.5 | 1.0~3.0 |
無塵室工程熱線:400-8383-228
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